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SF6氣體以其優異的絕緣和滅弧性能。在電力系統中得到廣泛的應用，幾乎成了中壓、高壓和超高壓電氣設備使用的唯一絕緣和滅弧介質，正因為SF6氣體的大量使用，其安全性也受到了人們的廣泛關注，尤其是安裝在室內的SF6電氣設備，監測其泄漏及室內O2的含量確保作業人員的人身安全，是各級領導最關心的大事。

SF6氣體泄露對人體的危害性：SF6氣體是一種無色、無味、無臭、無毒、密度比空氣重的惰性氣體，純凈的SF6對人體沒有毒性，但不能維持生命。SF6是一種簡單窒息劑，暴露在O2含量小于19.5%的大氣中會導致頭暈、昏迷、口水增多、反應遲鈍、反胃、嘔吐、失去意識甚至死亡。暴露在O2小于12%的大氣中會無任何先兆地失去知覺，產失去自我救護的能力。更重要的是，SF6在高壓電弧的作用下會發生部分分解，其分解物為SF4、SOF2、SF2、SO2F2、HF等含劇毒和強腐蝕性，即使微量泄漏也能造成人身及設備的傷害，對于經常進出SF6電氣設備室的作業人員預知SF6泄漏點及泄漏量和O2的含量就更為重要了。

如何預防以及采取何種安全措施，《DL408-91》電業安全工作規程、《GB/T8905-96》六氟化硫電氣設備中氣體管理和檢驗導體及高壓開關設備反事故技術措施等國家標準中明文規定： 室內安裝運行的氣體絕緣開關設備宜設置一定數量的氧量儀和SF6濃度報警儀，人員進入設備區前必須先行通風15min以上。當室內SF6泄漏超標（大于1000ppm），O2含量低于18%時。發生報警，自動啟動風機，根據電力安全工作規程指示精神，各SF6使用單位非常有必要安裝置SF6濃度和氧氣含量報警控制功能的設備，來確保SF6電氣設備和作業人員人身安全的雙重保護。